机械真空泵系统

 以 RH 真空精炼炉为例，其核心为机械真空 泵系统，如图 1 所示。

 PT- 真空压力变送器；TT- 废气温度变 送器 ；DT- 废 气 粉 尘 浓 度检测仪； FT- 气水介质流量检测仪；VTS- 泵体振动检测仪；M- 电机电流检测仪； AT- 废气分析仪；SOV- 自动阀门；NX- 真空切断阀。

该系统包括钢液废气冷却 器、钢液废气除尘器及多级机械泵组。 多级机械泵组由三级罗茨泵和一级螺杆泵v>串联而成，每级泵由多台规格相同的单泵并联而 成。第四级泵采用抽气能力较强的螺杆泵，以保 证前三级罗茨泵的抽气速度及稳定的粗真空状 态建立。由于钢液精炼过程中的废气含高粉尘特 性，因此配置除尘过滤系统来保护各级机械泵， 并在过滤器前端配置废气冷却器以避免高热气 体对滤袋及机械泵组的影响。如图 1 所示，该系 统配置有真空压力、废气温度、粉尘浓度、气水介 质流量、废气分析、电机电流、泵体振动等在线测 量设备和真空自动切断阀。