通风、空气净化系统是洁净室众多系统中安全工作比较繁重的系统之一,同时也是保障洁净室环境清洁的重要系统,系统中的空气滤网需要定时清洁和更换 。洁净室内为实验室空间,不可避免会产生实验废气、大气灰尘等,这些废气、灰尘需要及时地排出洁净室外,让室外清新的空气能够与室内的空气产生交换,这就需要通风循环系统。而同时洁净实验室内的空气在内循环机制下需要对室内空气进行过滤清洁,保障室内空气的洁净度在规定的范围内。
电力系统洁净室内存放着众多的精密电子设备,很多是国外进口,不仅价格昂贵,而且有着特殊的使用和管理要求;洁净室电力系统的安全考量不仅要保障安全用电,还有其他的要求;常见洁净室电力系统安全注意事项见表 3。