洁净室过滤器的完整性

洁净室的建筑装修原则是应用材料不产尘、表面光滑易清洁、缝隙密闭不积尘。洁净室的门不应设置门槛，非必要的凹凸面会使洁净室的清洁工作事倍功半 。图 1 a 中的门槛因接近地面，沉降的大颗粒尘埃易沉积在门槛上，随人员流动而被夹带扩散；图 1 b 中的遮光罩因处于空间高位，悬浮的小颗粒尘埃易沉积在罩面上，因送风口产生的湍流而被触动扩散。不易察觉、不易清除的尘埃是影响洁净度的潜在危险源。

保证洁净室不受尘埃微粒影响的核心技术是通风系统中的空气净化过滤功能。空气过滤器是创造洁净环境的核心设备，粗效过滤器可滤除 10 μm 以上的颗粒物，中效过滤器可滤除 1 ~ 10 μm 的颗粒物，高效过滤器可滤除≥ 0.3 μm 的颗粒物 。安装在通风管道末端的高效过滤器作为洁净室内的最后一道屏障，可视为核心技术，其安装完整性决定了洁净室的洁净度，根据气溶胶光度计法测试，不仅要求过滤器的送风面透过率≤ 0.01%，而且对安装边框的密闭性的评价标准也应≤ 0.01% [5] ，该要求表明，送风管道内的气流不应有未经过滤的部分进入洁净室，气流进入洁净室前必须经过有效过滤。在非单向流洁净室内的多个末端，高效过滤器的完整性应100% 确认，任一过滤器的泄漏均可能影响洁净室的洁净度。